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砷化鎵單晶生長(zhǎng)爐

◎ 詳情介紹

一、設(shè)備概述:

主要應(yīng)用于 3-6 英寸 砷化鎵III-V 族化合物半導(dǎo)體晶體材料生長(zhǎng),可實(shí)現(xiàn) VGF/VB 工藝聯(lián)合長(zhǎng)晶等工藝,自動(dòng)控制系統(tǒng)。


二、設(shè)備參數(shù)類(lèi)型:

設(shè)備性能指標(biāo)

1

操作方式

手動(dòng)

2

管路數(shù)

1管

3

加工晶圓尺寸

4-6寸

4

適用工藝

VGF/VB 工藝

5

控溫精度

±0.2℃/>1280℃恒溫區(qū)內(nèi)

6

控溫模式

Spike控溫+Profile串級(jí)控溫

7

控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

一體工控機(jī)+PLC

8

報(bào)警保護(hù):

具有超溫報(bào)警,斷偶報(bào)警,氣體互鎖,氣體緩啟動(dòng)等功能


三、設(shè)備主要特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

1★具有強(qiáng)大的操作功能,windows界面,顯示屏操作,用戶(hù)可以方便地修改工藝控制參數(shù),并可隨時(shí)顯示各種工藝狀態(tài);配有故障自診斷軟件,可大大節(jié)省維修時(shí)間;

2★采用可靠性工控機(jī)+PLC模式,對(duì)爐溫進(jìn)行全自動(dòng)控制;

3★程序可以實(shí)現(xiàn)手/自動(dòng)工作,在停電或中途停機(jī)后,再次啟動(dòng)可以根據(jù)工藝手動(dòng)升溫,節(jié)省工藝時(shí)間;

4★具有多種報(bào)警功能及安全保護(hù)功能;
5★恒溫區(qū)自動(dòng)調(diào)整,串級(jí)控制,可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實(shí)際工藝溫度;


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◎ 企業(yè)簡(jiǎn)介

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青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年,是集研發(fā)、制造、銷(xiāo)售為一體的高新技術(shù)企業(yè),育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場(chǎng)、石墨治具加工領(lǐng)域,產(chǎn)品服務(wù)于各類(lèi)電子器件行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)、太陽(yáng)能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。

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育豪公司系國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè),省專(zhuān)精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標(biāo)注冊(cè)權(quán)、進(jìn)出口經(jīng)營(yíng)權(quán),已通過(guò)ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證,擁有各種專(zhuān)利50+項(xiàng)。

◎ 企業(yè)資質(zhì)

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