產(chǎn)品及應(yīng)用
產(chǎn)品分類
◎ 詳情介紹
一、設(shè)備概述：
立式退火爐設(shè)備可應(yīng)用于集成電路、分立器件、 POWER、 MEMS等多種領(lǐng)域，適用于6-12英寸晶圓芯片的高溫干/濕氧化、DCE氧化、摻氮氧化、擴散、GPP、退火、合金等工藝。
退火工藝是在中低溫條件下，通入惰性氣體（N2），消除硅片界面處晶格缺陷和晶格損傷，優(yōu)化硅片界面質(zhì)量的一種工藝。
該設(shè)備系統(tǒng)是一個立式單室爐管，過程處理高度自動化。它主要包括主機、電源柜、氣路柜、加熱系統(tǒng)、傳動系統(tǒng)等部件。
二、設(shè)備參數(shù)類型：
三、設(shè)備主要特點和優(yōu)勢
1★具有強大的操作功能，windows界面，顯示屏操作，用戶可以方便地修改工藝控制參數(shù)，并可隨時顯示各種工藝狀態(tài)；配有故障自診斷軟件，可大大節(jié)省維修時間；
2★采用可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進(jìn)退舟、氣體流量、閥門進(jìn)行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動化；
3★程序可以實現(xiàn)手/自動工作，在停電或中途停機后，再次啟動可以根據(jù)工藝手動升溫，節(jié)省工藝時間；
4★具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇；
5★推拉舟控制采用高速脈沖閉環(huán)控制，避免馬達(dá)丟步，運行顫抖現(xiàn)象。推拉舟運行完一個周期，自動校準(zhǔn)位置，有效防止定位偏差；
6★氣體流量控制精確，采用模擬信號閉環(huán)控制，強弱電分開，各種數(shù)據(jù)交互采用標(biāo)準(zhǔn)總線，提高抗干擾能力，保證數(shù)據(jù)安全；氣體打開具有緩啟動功能；
7★具有多種報警功能及安全保護(hù)功能；
8★恒溫區(qū)自動調(diào)整，串級控制，可準(zhǔn)確控制反應(yīng)管的實際工藝溫度；
◎ 企業(yè)簡介
青島育豪微電子設(shè)備有限公司創(chuàng)建于2008年，是集研發(fā)、制造、銷售為一體的高新技術(shù)企業(yè)，育豪公司致力于電加熱爐設(shè)備、加熱爐體熱場、石墨治具加工領(lǐng)域，產(chǎn)品服務(wù)于各類電子器件行業(yè)、半導(dǎo)體材料行業(yè)、太陽能光伏行業(yè)等相關(guān)領(lǐng)域。
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育豪公司系國家級高新技術(shù)企業(yè)，省專精特新企業(yè)、擁有企業(yè)商標(biāo)注冊權(quán)、進(jìn)出口經(jīng)營權(quán)，已通過ISO9001質(zhì)量管理體系認(rèn)證，擁有各種專利50+項。
◎ 企業(yè)資質(zhì)
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